半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中玻璃硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。無(wú)機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)；堿金屬如鈉等，引起嚴(yán)重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等，會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。將超聲波清洗機(jī)應(yīng)用到玻璃硅片生產(chǎn)中，不僅環(huán)保還提高產(chǎn)品質(zhì)量。

      2超聲波清洗設(shè)備設(shè)備特點(diǎn)

      1.采用最新流行環(huán)保水基清洗工藝.該設(shè)計(jì)先進(jìn)、合理,充分考慮了環(huán)保和節(jié)能的要求；

      2.全封閉式結(jié)構(gòu)，運(yùn)行部件設(shè)計(jì)防止污染;

      3.清洗機(jī)框架和烘干爐內(nèi)均采用正壓送風(fēng)形式,保持運(yùn)行時(shí)的風(fēng)流始終外溢;

      4.清洗區(qū)域與維護(hù)區(qū)域隔離開，確保潤(rùn)滑油脂及運(yùn)動(dòng)磨損不會(huì)對(duì)清洗的產(chǎn)品產(chǎn)生二次污染;

      1清洗原理

      超聲波清洗機(jī)是通過(guò)超聲波發(fā)生器將高于頻率為20KHz的震蕩信號(hào)進(jìn)行電功率放大后經(jīng)超聲波換能器(震頭)的逆壓電效應(yīng)轉(zhuǎn)換成高頻機(jī)械振動(dòng)能量通過(guò)清洗液體中的聲幅射，使清洗液體分子振動(dòng)并超聲波清洗機(jī)產(chǎn)生無(wú)數(shù)微小空穴和氣泡。并沿超聲波傳播方向在負(fù)壓區(qū)形成、生長(zhǎng)，并在正壓區(qū)迅速閉合而產(chǎn)生上千個(gè)大氣壓的間瞬間高壓而爆破，形成無(wú)數(shù)微觀高壓沖擊波作用于管道璧的成垢雜質(zhì)并將此粉碎。

      此即稱之為超聲波清洗中的“空化效應(yīng)”。銅管超聲波清洗機(jī)就是基于“空化效應(yīng)”技術(shù)而工作的。從“空化效應(yīng)”可知空穴和氣泡是在液體中施加高頻(超聲頻率)、高強(qiáng)度的聲波而產(chǎn)生的。為此銅管超聲波清洗機(jī)的組成都必須具備以下二個(gè)基本部件：高頻高壓大功率電信號(hào)的超聲波發(fā)生器、以及能將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能(即壓電逆效能)并經(jīng)液體流通過(guò)的管道式高聲強(qiáng)換能器。